采用反應氣體等離子源輔助沉積，對工件進行預清洗及鍍膜時的輔助沉積；采用大功率的脈沖偏壓電源，增強膜層的附著力；采用多套孿生靶及弧，可同時安裝2-6種不同純金屬或合金靶材，獲得復合納米鍍層；工件架采用公自轉結構，稱重能力強及耐高溫，并可移動出...